光刻机

什么是光刻机
光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等，是制造芯片的核心装备，用于生产芯片、封装、LED制造领域，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，光刻机的种类可分为接触式曝光、接近式
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星空22年6月22日

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