MEMS的定义及其分类

mems芯片是什么意思(MEMS的定义及其分类)
MEMS是Micro-Electro-MechanicalSystem的缩写，中文名称是微机电系统。MEMS芯片简而言之，就是用半导体技术在硅片上制造电子机械系统，再形象一点说就是做一个微米纳
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恰卡23年9月17日

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